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原装MKS真空计901P-42030产品名称:MKS真空计901P-42030产品型号:901P-42030关键字:MKS真空计901P-42030关键字描述:901P-42030微型Pirani-Piezo负载锁定真空传感器结合了Piezo和MicroPirani传感器技术,与传统的热导仪相比,其稳定性,可重复性和响应时间显着提高。产品介绍:901P-42030微型Piran
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品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 道路/轨道/船舶,包装/造纸/印刷,航空航天,电气 |
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原装MKS真空计901P-42030
产品名称:MKS真空计901P-42030
产品型号:901P-42030
关键字:MKS真空计901P-42030
关键字描述:901P-42030微型Pirani-Piezo负载锁定真空传感器结合了Piezo和MicroPirani传感器技术,与传统的热导仪相比,其稳定性,可重复性和响应时间显着提高。
产品介绍:
901P-42030微型Pirani-Piezo负载锁定真空传感器结合了Piezo和MicroPirani传感器技术,与传统的热导仪相比,其稳定性,可重复性和响应时间显着提高。它具有0.00001-1000 Torr压力测量范围,可进行大气压切换,并带有4VCR内螺纹接头。它使用RS485数字通讯接口设置传感器参数并提供实时压力测量。901P专为真空负载锁内的压力测量而设计。它具有从大气压到10 -5的压力测量值,可以代替负载锁上的多个压力测量设备r和大气切换功能。与传统的负载锁设计中使用的压力计相比,901P的大气压力测量可以通过缩短循环时间来提高负载锁性能,并防止负载锁被大气污染。901P结合了压力测量和差压测量技术,以提供性能和功能。与气体无关压力测量值,范围从50 -1000 Torr,比导热系数传感器提高了准确性。与传统的Pirani压力计不同,MicroPirani中的传感器元件是由一个1平方毫米的硅芯片制成的,因此可以在很小的体积内进行测量。由于采用了MicroPirani技术,901P可以读取低至10 -5的压力比标准的皮拉尼传感器低二十年的托尔。传感器设计使对流的影响小化,随后901P可以以任何方向安装而不会影响精度。901P还具有1VDC / decade的模拟压力输出,可以将其连接到外部模拟设备以进行压力读数或控制。可以通过数字用户界面选择其他模拟输出和曲线。可选的辅助模拟输出用于提供压差测量。901P多具有三个机械继电器,可用于过程控制,例如互锁隔离阀和真空泵。每个设***都可以分配给差分压电测量或组合MicroPirani/压电测量。
参数:
测量范围:1.0 x 10 -5至1500
差分测量范围:-760至+760
类型:真空传感器
界面:RS485 /模拟
设***范围:5.0 x 10 -4托至1000托 差分:-760至100托
标定气体:空气,氩气,氦气,氮气,H2,H2O蒸气,CO2,氙气,氖气
工作温度:0-40°C(32-104°F)
烘烤温度(max.):85°C(185°F)
模拟量输出:1-9 VDC
模拟输出分辨率:16位
压电微分零稳定性满量程的±0.1%(满量程= 760托)
超压极限1500托
电子套管和法兰304不锈钢
模拟输出2分辨率12位
数字波特率4800-230400波特
原装MKS真空计901P-42030