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原装HORIBA 控制器SEC-8000

原装HORIBA 控制器SEC-8000SEC-8340SL 搭载有主体加温加热器


气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:80?100℃

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2022-03-04
  • 访  问  量:344
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详细介绍
品牌其他品牌应用领域能源,包装/造纸/印刷,航空航天,电气,综合

原装HORIBA 控制器SEC-8000

概要

质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量,但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响,如需精确测量,需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量,是利用测量气体的质量,而质量是不受外界的环境的影响,从而可以提供高精度流量检测和控制,且在半导体制造制程有广泛的使用。

特征

它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。

适用于高温:可满足150℃烘焙产品阵容中有可满足使用温度的产品型号超清洁类型:接气部全不锈钢构造MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制

概要

质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量,但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响,如需精确测量,需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量,是利用测量气体的质量,而质量是不受外界的环境的影响,从而可以提供高精度流量检测和控制,且在半导体制造制程有广泛的使用。

特征

它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。

适用于高温:可满足150℃烘焙产品阵容中有可满足使用温度的产品型号超清洁类型:接气部全不锈钢构造MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制



原装HORIBA 控制器SEC-8000

SEC-8340SL 搭载有主体加温加热器


气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

流量控制范围

2?100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:80?100℃


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