Classification
Articles
Manner Sensortelemetrie 放大器和接收器技术参数
原装HORIBA 控制器SEC-8000SEC-8340SL 搭载有主体加温加热器 气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO: 非通电时:开标准流量量程5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM流量控制范围2?100% F.S.(满量程)流量精度±1.0% F.S.(满量程) 使用温度:80?100℃
联系电话:18500954116
品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 能源,包装/造纸/印刷,航空航天,电气,综合 |
---|
原装HORIBA 控制器SEC-8000
概要
质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量,但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响,如需精确测量,需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量,是利用测量气体的质量,而质量是不受外界的环境的影响,从而可以提供高精度流量检测和控制,且在半导体制造制程有广泛的使用。
特征
它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。
适用于高温:可满足150℃烘焙产品阵容中有可满足使用温度的产品型号超清洁类型:接气部全不锈钢构造MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制
概要
质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量,但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响,如需精确测量,需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量,是利用测量气体的质量,而质量是不受外界的环境的影响,从而可以提供高精度流量检测和控制,且在半导体制造制程有广泛的使用。
特征
它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。
适用于高温:可满足150℃烘焙产品阵容中有可满足使用温度的产品型号超清洁类型:接气部全不锈钢构造MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制
原装HORIBA 控制器SEC-8000
SEC-8340SL 搭载有主体加温加热器 | |
气体接触部材质 | SUS-316L |
阀门类型 | NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
流量控制范围 | 2?100% F.S.(满量程) |
流量精度 | ±1.0% F.S.(满量程) 使用温度:80?100℃ |